ÀÌ·¸°Ô ¼¼¹ÐÇÑ ÀÛ¾÷±îÁö ¾Ë¾Æ¾ß ÇÒ±î? ÇϽôºеé...
Çѹø Àо°í ¾Æ~ ·¥ÀÌ ±×·¸°Ô ¸¸µé¾îÁö³ª º¸´Ù ÇÏ¸é µÇ´Â°Ì´Ï´Ù.
¿ì¸®°¡ ·¥À» ¸¸µéÀϵµ ¾ø°í ¶Ç ÀÌ·± ³»¿ëÀ» ¸ô¶óµµ ÀüÇô »ó°ü¾øÁÒ.¿©±ä ±×³É »ó½Ä(?)ÄÚ³ÊÀ̹ǷΠÀо½Ã´Ù°¡ °ñ¸Ó¸® ¾ÆÇÁ¸é ±×³É ³Ñ¾î°¡¼¼¿ä.
¾Æ·¡ ³»¿ëÀº PC »ç¶û¿¡¼ ¹ßÃéÇÑ °ÍÀÔ´Ï´Ù.
·¥Àº ¾î¶»°Ô ¸¸µå´ÂÁö, Á¦Á¶°øÁ¤À» ³ªÅ¸³»´Â ¹ÌÅ©·Ð(¥ìm)ÀÌ ¹«¾ùÀÎÁö, ÆÐÅϰú ¿þÀÌÆÛ°¡ ¾î¶² °ÍÀÎÁö µîÀ» ¾Ë¾Æº¸µµ·Ï ÇÏÀÚ.
´Ü°è1. ¿þÀÌÆÛ ¸¸µé±â
¹ÝµµÃ¼¸¦ ¸¸µå´Â Àç·á´Â ¸ð·¡¿¡¼ ³ª´Â ±Ô¼Òµ¢¾î¸®´Ù. À̰ÍÀ» ¾ã°Ô ½ä¾î¼ ¿þÀÌÆÛ¸¦ ¸¸µç´Ù. ijµå ÇÁ·Î±×·¥¿¡¼ ¼³°èÇÑ È¸·Î ¼±À» ¿þÀÌÆÛ Ç¥¸éÀÇ À¯¸®ÆÇ¿¡ »õ±ä´Ù.
¡¤Àç·á ¸¸µé±â
½Ç¸®ÄÜÀ» ¹°Ã³·³ ³ì¿©¼ ÀÚÀßÇÑ Æ¼¸¦ ¾ø¾Ö°í, ¼Ø»çÅÁ ¸¸µé µíÀÌ ¸·´ë±â¸¦ ´ë°í µ¹·Á¼ ±Ô¼Òµ¢¾î¸®(ingot)¸¦ ¸¸µç´Ù.
¡¤±Ô¼Òµ¢¾î¸® ½ä±â
±Ô¼Òµ¢¾î¸®¸¦ ¹« ½äµí ¾ã°Ô Àß¶ó ¸¸µÎÇÇó·³ ¸¸µç´Ù. À̰ÍÀÌ ¿þÀÌÆÛ(wafer)ÀÌ´Ù. ±Ô¼Òµ¢¾î¸® ±½±â¿¡ µû¶ó¼ 3ÀÎÄ¡, 4ÀÎÄ¡, 6ÀÎÄ¡, 8ÀÎÄ¡·Î ¸¸µç´Ù. ÇÑ ¿þÀÌÆÛ¿¡¼ ¹ÝµµÃ¼¸¦ ¸¹ÀÌ ¸¸µé·Á°í ±Ô¼Òµ¢¾î¸® 6ÀÎġ¥¸®¸¦ 8ÀÎÄ¡·Î ¹Ù²Ù´Â Ãß¼¼´Ù.
¡¤¿þÀÌÆÛ ´Û±â
ȸ·Î ¼±(pattern. ¹«´Ì)À» ±×¸®·Á°í ¿þÀÌÆÛ ÇÑÂÊ ¸éÀ» ´Û¾Æ °Å¿ïó·³ ¸¸µç´Ù.
¡¤ÀüÀÚȸ·Î ¼³°èÇϱâ
ijµå(CAD. computeraided design) ÇÁ·Î±×·¥À» ½á¼ ¿þÀÌÆÛ¿¡ »õ°Ü³õÀ» ÀüÀÚȸ·Î¸¦ §´Ù.
¡¤¹«´Ì »õ±â±â
¹ÙµÏÆÇÀ» ¸¸µéµíÀÌ ¿þÀÌÆÛ²®µ¥±â À¯¸®ÆÇ¿¡ ·¹ÀÌÀú ºûÀ» ½î¾Æ ³×¸ð ÄÀ» Ä¡°í ÀüÀÚȸ·Î¸¦ ±×¸°´Ù. Àü¹®¿ë¾î´Â¡®Mask(reicle) ¸¸µé±â¡¯¶ó°í ÇÑ´Ù.
RD·¥(rambus DRAM)Àº ¸í·É°ú µ¥ÀÌÅ͸¦ ÁÖ°í¹Þ´Â ¹æ¹ýÀ» »Ñ¸®ºÎÅÍ ¹Ù²Û ÇÁ·ÎÅäÄÝ(protocol, ±Ô¾à) ¹æ½Ä ¸Þ¸ð¸®´Ù.
ÇÏÁö¸¸ µ¥ÀÌÅ͸¦ ÁÖ°í¹Þ´Â ¹æ¹ýÀÌ ¹Ù²î¾úÀ» »Ó, ÀÛµ¿ ¿ø¸®´Â ±×´ë·Î D·¥ÀÌ´Ù. PC ½Ã½ºÅÛ°ú ÁÖ°í¹Þ´Â ¸í·É°ú µ¥ÀÌÅ͸¦ ¹¾î¼(packet) ÁÖ°í¹Þ°Ô °íÄ£ °ÍÀÌ´Ù. ÀÌó·³ ¹ÀÎ µ¥ÀÌÅ͸¦ ½Ã½ºÅÛ ¹ö½º°¡ ¶È¹Ù·Î ¾Ë¾ÆÃ¤·Á¸é D·¥°ú ¼·Î ¾à¼Ó(protocol)À» ÇØµÖ¾ß ÇÑ´Ù. ¶§¹®¿¡ ¸Þ¸ð¸® Ĩ¿¡ ÇÁ·ÎÅäÄÝÀ» ¾Ë¾ÆÃ¤´Â ÀÎÅÍÆäÀ̽º¸¦ ´Ü´Ù.
SD·¥Àº 8ºñÆ®¸¦ ÇÑ ¹ø¿¡ ÁÖ°í¹Þ´Â ¹ö½º(bus. µ¥ÀÌÅÍ Åë·Î)¸¦ Áö´Ñ ¸Þ¸ð¸® Ĩ 8°³¸¦ ¿«°í º´·Ä·Î ¿¬°áÇ߱⠶§¹®¿¡ 64ºñÆ®¸¦ ÇÑ ¹ø¿¡ ÁÖ°í¹Þ´Â´Ù. ±×¿¡ ¹ÝÇØ RD·¥Àº 16ºñƮ¥¸® ¸Þ¸ð¸® ĨÀ» ·¥¹ö½º ä³Î(µ¥ÀÌÅÍ Åë·Î)¿¡ ¾ñ¾î Á÷·Ä·Î ¿¬°áÇØ¼ 16ºñÆ® ±×´ë·Î´Ù.
SD·¥Àº ÁÖ±â ÇÑ ¹ø¿¡ 64ºñÆ®¾¿ µ¥ÀÌÅ͸¦ ÁÖ°í¹ÞÁö¸¸ RD·¥Àº 16ºñÆ®¸¦ ÁÖ°í¹Þ´Â´Ù. ÇÑ ¹ø¿¡ ÁÖ°í¹Þ´Â µ¥ÀÌÅÍ´Â SD·¥º¸´Ù ÀûÁö¸¸ µ¥ÀÌÅÍ Åë·ÎÀÇ ÀÛµ¿¼Óµµ°¡ 400MHzÀ̰í DDR ±â¼úÀ» ½á¼ 800MHz·Î ²ø¾î ¿Ã·È´Ù. À̰ÍÀº ÆæÆ¼¾ö 4 CPU¿Í ¦À» ¸Î°Ô µÈ ÀÌÀ¯À̱⵵ ÇÏ´Ù. ÆæÆ¼¾ö 4´Â ½Ã½ºÅÛ ¹ö½º°¡ 400MHz¶ó¼ CPU¿Í ¸ÞÀκ¸µå Ĩ¼ÂÀÌ ÁÖ°í¹Þ´Â µ¥ÀÌÅÍ ÆøÀº 1ÃÊ¿¡ 3.2GB´Ù. RD·¥À» ¾²¸é ¸ÞÀκ¸µå Ĩ¼Â°ú ³ª´©´Â µ¥ÀÌÅÍ ÆøÀ» 3.2GB·Î ¸ÂÃâ ¼ö Àֱ⠶§¹®ÀÌ´Ù.
400MHz·Î ÀÛµ¿ÇÏ´Â RD·¥Àº Ŭ·° 4¹øÀÌ ÆÐŶ ÇÑ °³À̰í, ÀÌ °ÍÀÌ ·¥¹ö½º ä³Î¿¡¼ ¸í·ÉÀ» ³»¸®´Â °¡Àå ÀÛÀº ´ÜÀ§´Ù. Á÷·Ä·Î ¿¬°áÇÑ ¸Þ¸ð¸® ĨÀº 16ºñÆ® µ¥ÀÌÅ͸¦ ¿«¾î¼ RD·¥µµ 16ºñÆ® µ¥ÀÌÅ͸¦ ÁÖ°í¹ÞÁö¸¸ ÀÛµ¿¼Óµµ°¡ 400MHzÀ̰í DDR ±â¼úÀ» ½á¼ 800MHz·Î ÀÛµ¿Çϱ⠶§¹®¿¡ ¼Óµµ°¡ ºü¸£´Ù.
´Ü°è 2. ¿þÀÌÆÛ °¡°øÇϱâ
¿þÀÌÆÛ Ç¥¸éÀÇ À¯¸®ÆÇ¿¡ »õ±ä ȸ·Î ¼±À» ºûÀ» ½î¾Æ ¿þÀÌÆÛ À§¿¡ ÀÛ°Ô »õ±â°í, ÀÌ¿ÂÀ» ¿þÀÌÆÛ¿¡ ħÅõ½ÃÄѼ ¹ÝµµÃ¼¿¡ »ý¸í·ÂÀ» ºÒ¾î³Ö´Â´Ù.
¡¤¸· ¾º¿ì±â
800¡É¡1,200¡É¿¡¼ »ê¼Ò³ª ¼öÁõ±â¸¦ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ´ë¸é ÈÇйÝÀÀÀÌ ÀϾ ¾ã°í °í¸¥ ½Ç¸®ÄÜ»êȸ·(SiO2)ÀÌ »ý±ä´Ù. À̰ÍÀÌ »êȰøÁ¤(oxidation proc ess)ÀÌ´Ù.
¡¤°¨±¤¾× »Ñ¸®±â
ºûÀ» ¹ÞÀ¸¸é ÈÇйÝÀÀÀ» ÀÏÀ¸Å°´Â °¨±¤¾×(PR.photoresist)À» ¿þÀÌÆÛ¿¡ °í¸£°Ô »Ñ¸°´Ù. ÀÌ·¸°Ô ÇØ¼ »ý±ä ¾ãÀº ¸·ÀÌ¡®PR¸·¡¯ÀÌ´Ù.
¡¤È¸·Î Âï±â
¿þÀÌÆÛ²®µ¥±â À¯¸®ÆÇ¿¡ ºûÀ» ½î¾Æ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ȸ·Î ¼± »çÁøÀ» Âï´Â ÀÛ¾÷ÀÌ´Ù. ½ºÅÂÆÛ(stepper) ±â°è¸¦ ½á¼ ¿þÀÌÆÛ²®µ¥±â À¯¸®ÆÇ¿¡ »õ±ä ÀüÀÚȸ·Î¿¡ ºûÀ» ºñÃ߸é PR¸·¿¡ ȸ·Î ¼±ÀÌ ÂïÈù´Ù. À̰ÍÀÌ ³ë±¤°øÁ¤(exposure process)ÀÌ´Ù.
¡¤È¸·Î ¼± »õ±â±â
¸¶Ä¡ Çʸ§À» Çö»óÇØ¼ »çÁøÀ» ¸¸µé µí ºûÀ» ¹ÞÀº ¾ãÀº PR¸·ÀÌ ¿þÀÌÆÛ À§¿¡ ȸ·Î ¼±À» ±×¸°´Ù. ¶§¹®¿¡ ¼ÕÅé ¸¸ÇÑ ¹ÝµµÃ¼¿¡ º¹ÀâÇÑ È¸·Î ¼±À» »õ±æ ¼ö ÀÖ´Ù. À̰ÍÀÌ Çö»ó(de velopment)°øÁ¤ÀÌ´Ù.
¡¤È¸·Î ¼± û¼ÒÇϱâ
ȸ·Î ¼±À» ±ò±ÝÇÏ°Ô Á¤¸®ÇØ¾ß ÇϹǷΠÈÇй°ÁúÀ̳ª °¡½º¸¦ »Ñ·Á¼ ¾µµ¥¾ø´Â ȸ·Î ¼±À» ¾ø¾Ø´Ù. À̰ÍÀº ÆÐÅÏÇü¼º°úÁ¤ ¶Ç´Â ¿¡Äª(etching) °øÁ¤À̱⵵ ÇÏ´Ù.
¡¤À̿ ³Ö±â
'À̿ ³Ö±â¡¯(ionim planta tion) °øÁ¤Àº ȸ·Î ¼±¿¡ ÀÌ¿Â(ION, Àü±â¸¦ ¶í ¿øÀÚ)À» ½ºÇÁ·¹ÀÌ »Ñ¸®µíÀÌ ¿þÀÌÆÛ ¾È¿¡ Áý¾î³Ö´Â ÀÛ¾÷ÀÌ´Ù. À̰ÍÀº µ¥ÀÌÅ͸¦ ´ã´Â ÃÖ¼Ò ´ÜÀ§ÀÎ ÀüÀÚ¼ÒÀÚ¸¦ ¸¸µç´Ù. 'À̿ ³Ö±â¡¯ÀÛ¾÷ ¸»°íµµ ¹±°í £À½ÀÌ ´Ù¸¥ ¹°ÁúÀ» ¼¯À¸¸é Á¡Á¡ ³óµµ°¡ °°¾ÆÁö´Â'È®»ê¡¯(diffusion) ÀÛ¿ëÀ» ¾²±âµµ ÇÑ´Ù.
¡¤ÈÇÐ Áõ±â ¾ÉÈ÷±â
ÈÇÐ Áõ±â ¾ÉÈ÷±â(CVD. che mical vapor deposition) ÀÛ¾÷ÀÌ´Ù. Àü±â°¡ È帣´Â ¿¯Àº ÃþÀ̳ª È帣Áö ¾Ê´Â ÃþÀ» ¸¸µé·Á°í ÈÇÐ ¹ÝÀÀÀ» ÇØ¼ ¸¸µç ÀÔÀÚ¸¦ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ¾ÉÈù´Ù.
¡¤¾Ë·ç¹Ì´½ ¼± ±ò±â
¿þÀÌÆÛ À§¿¡ »õ±ä ȸ·Î ¼±À» ¾Ë·ç¹Ì´½ ¼±À¸·Î ¸¸µå´Â ÀÛ¾÷ÀÌ´Ù. À̰ÍÀÌ ±Ý¼Ó¹è¼±(metal lization)ÀÌ´Ù.
´Ü°è 3 Á¶¸³°ú °Ë»ç
µ¿±×¶õ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ¹ÙµÏÆÇ ¹«´Ì¸¦ Âï°í ȸ·Î ¼±À» »õ±ä ´ÙÀ½, ÈÇмöÁö¸¦ ¾º¿ö ¸Þ¸ð¸® ĨÀ» ¸¸µç´Ù. ¿©·¯ ÀÛ¾÷¸¶´Ù ¸Þ¸ð¸® ĨÀÌ ¿Ã¹Ù¸£°Ô ÀÛµ¿ÇÏ´ÂÁö Àü±â¸¦ Á༠°Ë»çÇÑ´Ù.
ºÒ·® ¿þÀÌÆÛ °ñ¶ó³»±â
¿þÀÌÆÛ¿¡ ¸¸µç ICĨµéÀÌ Àü±â¸¦ ´ëÁÖ¸é ¶È¹Ù·Î ¹ÝÀÀÇÏ´ÂÁö °Ë»çÇØ¼ ºÒ·®Ç°À» °ñ¶ó³½´Ù.
¡¤Ä¨ ¶¼¾î³»±â
´ÙÀ̾Ƹóµå ÅéÀ¸·Î ¿þÀÌÆÛ¿¡ ¸¸µé¾î ³õÀº ĨÀ» µû·Î ¶¼¾î³½´Ù.
¡¤Ä¨ ¾ñ±â
³¹°³·Î ¶³¾îÁ® Àִ Ĩ °¡¿îµ¥ ǰÁúÀÌ ÁÁÀº °Í¸¸ ¸®µåÇÁ·¹ÀÓ¿¡ ¾ñ´Â´Ù.
¡¤¼± ÀÕ±â
ĨÀÌ °®Ãá ¿¬°á´ÜÀÚ¿Í ¸®µåÇÁ·¹ÀÓÀ» °¡´À´Ù¶õ ±Ý ¼±À¸·Î ¿¬°áÇÑ´Ù.
¡¤Ä¨ ²®µ¥±â ¾º¿ì±â
Ĩ°ú ¿¬°áÇÑ ±Ý ¼±À» º¸È£ÇÏ·Á°í ÈÇмöÁö¸¦ ¾º¿î´Ù. À̰ÍÀÌ¡®¼ºÇü¡¯(molding) °øÁ¤ÀÌ´Ù.
¡¤¸¶Áö¸· °Ë»ç
Àü±â¸¦ Á༠Á¦´ë·Î ÀÛµ¿ÇÏ´ÂÁö ÃÖÁ¾ °Ë»ç¸¦ ÇÑ´Ù. ÇÕ°ÝÇÑ Á¦Ç°Àº ¸Þ¸ð¸®¿Í ¸¸µçȸ»ç À̸§À» »õ±â°í °Ë»ç¸¦ ´õ °ÅÄ£ ´ÙÀ½, ½ÃÀå¿¡ ÆÇ´Ù.